Optische Defekterkennung bei Nanostrukturen: Experimenteller Aufbau, Unsicherheitsanalyse, Merkmalserkennung

Oberflächen mit säulenförmigen Nanostrukturen weisen viele nützliche Eigenschaften auf, und werden als eine neue Art von Metamaterial bezeichnet. Jede Nanosäule hat einen Durchmesser von ca. 10 nm, und die Säulen sind gitterartig verteilt. Jedoch fehlt für die fertigungsnahe schnelle Qualitätskontrolle eine geeignete Messtechnik.

Kleinste Defekte unterhalb der Beugungsgrenze erkennen?

Deshalb ist hier das Ziel, basierend auf der Auswertung des Lichtstreuung (Scatterometrie) eine schnelle Defekterkennung bei nanostrukturierten Oberflächen zu realisieren. Im Rahmen der Abschlussarbeit soll hierfür ein experimenteller Aufbau erweitert und für verschiedene Proben angewendet werden, um Messdaten zur Lichtstreuung in alle drei Raumrichtungen aufzuzeichnen und auszuwerten.

Mögliche Inhalte der Arbeit

• Realisierung eines beweglichen Photodetektors zur Beschleunigung der Messungen
• Bestimmung der Position und Positionsunsicherheit des Photodetektors in Bezug zur Nanostruktur
• Erprobung und Erweiterung des erreichbaren Dynamikbereichs bei der Streulichterfassung
• Bildverarbeitung: Merkmalserkennung basierend auf den gemessenen Streulichtbildern

Ihr Profil

• Begeisterung für optischer Messtechnik und/oder Optik
• Sie arbeiten gern an Experimenten und der Datenanalyse.
• Sie haben Programmierkenntnisse in Matlab oder Python.
• Sie möchten mit uns daran arbeiten, die Fertigungsqualität der Materialien der Zukunft zu steigern!